能量色散X熒光光譜儀定義及原理
X射線熒光光譜儀是一種可以對多元素進(jìn)行快速同時測定的儀器。試樣受X射線照射后，其中各元素原子的內(nèi)殼層（K，L或M層）電子被激發(fā)逐出原子而引起電子躍遷，并發(fā)射出該元素的特征X射線熒光。每一種元素都有其特定波長的特征X射線。能散型X射線熒光光譜儀（EDXRF）利用熒光X射線具有不同能量的特點，由探測器本身的能量分辨本領(lǐng)來分辨探測到的X射線。
由光源激發(fā)樣品所產(chǎn)生的特征X射線直接進(jìn)入探測器，探測器將光信號轉(zhuǎn)化為電信號，由主放大器輸出的脈沖傳送到ADC（模數(shù)轉(zhuǎn)換器），脈沖幅度的模擬信號在這里轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號，產(chǎn)生的數(shù)字作為與多道分析器（MCA）連接的地址，然后根據(jù)這些地址分檢不同的脈沖即X射線的能量，并記錄相應(yīng)的脈沖數(shù)目。
X熒光鍍層測厚儀標(biāo)準(zhǔn)片選擇與使用
1．一般要求
使用可靠的參考標(biāo)準(zhǔn)塊校準(zhǔn)儀器。最后的測量不確定度直接取決于校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)塊的測量不確定度和測量精度。
參考標(biāo)準(zhǔn)塊應(yīng)具有的已知單位面積質(zhì)量或厚度的均勻的覆蓋層，如果是合金，則應(yīng)知其組成。參考標(biāo)準(zhǔn)塊的有效或限定表面的任何位置的覆蓋層不能超過規(guī)定值的±5%.只要用于相同的組成和同樣或已知密度的覆蓋層，規(guī)定以厚度為單位（而不是單位面積質(zhì)量）的標(biāo)準(zhǔn)塊，將是可靠的。合金組成的測定，校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)不需要相同，但應(yīng)當(dāng)已知。
金屬箔標(biāo)準(zhǔn)片。如果使用金屬箔貼在特殊基體表面作標(biāo)準(zhǔn)片，就必須注意確保接觸清潔，無皺折紐結(jié)。任何密度差異，除非測量允許，否則必須進(jìn)行補償后再測。
2．標(biāo)準(zhǔn)塊的選擇
可用標(biāo)準(zhǔn)塊的單位面積厚度單位校準(zhǔn)儀器，厚度值必須伴隨著覆蓋層材料的密度來校正。標(biāo)準(zhǔn)片應(yīng)與被測試樣具有相同的覆蓋層和基體材料，但對試樣基材為合金成分的，有些儀器軟件允許標(biāo)樣基材可與被測試樣基材不同，但前提是標(biāo)準(zhǔn)塊基體材料與試樣基材中的主元素相同。
3．標(biāo)準(zhǔn)塊的X射線發(fā)射（或吸收）特性及使用
校正標(biāo)準(zhǔn)塊的覆蓋層應(yīng)與被測覆蓋層具有相同的X射線發(fā)射（或吸收）特性。
如果厚度由X射線吸收方法或比率方法確定，則厚度標(biāo)準(zhǔn)塊的基體應(yīng)與被測試樣的基體具有相同的X射線發(fā)射特性，通過比較被測試樣與校正參考標(biāo)準(zhǔn)塊的未鍍基體所選的特征輻射的強(qiáng)度，然后通過軟件達(dá)到對儀器的校正。